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標準電阻 | 編程器 | 仿真器 | 數(shù)字電橋-LCR測試儀 |
圖示儀 | 電容測量儀-電容表 | IC燒錄器-IC集成電路測試儀 | 高頻Q表 |
內(nèi)窺鏡 | 真空薄膜計 | 打印機 | 電容耦合測試儀 |
低溫的氣體分子碰撞高溫固體時,會從固體奪取熱量。通過被氣體分子奪取的熱量來計算壓力的真空計被成為熱傳導(dǎo)真空計。熱傳導(dǎo)真空計主要被應(yīng)用于中低真空領(lǐng)域。代表性的熱傳導(dǎo)真空計包括Pirani真空計和熱電偶真空計。
真空計原理
金屬圓筒內(nèi)部設(shè)有一白金細線,兩端連接電極。通過電極給白金細線提供電流時,白金細線會發(fā)熱,氣體分子碰撞白金細線或熱輻射或通過固體熱傳導(dǎo)等方式,白金線的熱量會被奪走。單位時間內(nèi)以上三種方式奪走的熱量為Qg,Qr,Qs,則平衡狀態(tài)下時以下公式成立
Q = I2R = Qg + Qr + Qs (1)
Q是單位時間細線放出的熱量,R是細線的電阻,I是細線的電流。
氣體的平均自由行程比細線的直徑大很多時,Qg通過自由分子的熱傳導(dǎo)被表示為
Qg = αΛπda(T-T0)p (2)
T和T0分別為細線和金屬圓筒的溫度,P為氣體壓力,a是細線長度。 剩下的Qs和Qr可以分別表示如下
Qs = Sκ(T-T0)/L (3)
Qr = πdaσε(T4-T04) (4)
(3)是電極的熱傳導(dǎo),其中S是細線的斷面積,κ是固體的傳導(dǎo)率,L是電極的長度。(4)式代表熱輻射,σ和ε分別被稱為常數(shù)和固體輻射率。如果保持T和T0一定,則(3)和(4)式為常數(shù)。如果用I02R表示一定量的固體熱傳導(dǎo)和熱輻射,則式1可以表示為
I2R = Ap + I02R (5)
A = αΛπda(T-T0) (6)
I0是壓力為0的時候細線的電流, 是彌補固體熱傳導(dǎo)和熱輻射而帶來的熱量損失。A式是不依存壓力的定數(shù)
如果已知細線的電阻R,電流I0及定數(shù)A,則可以通過(5)式求得壓力P
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