型號(hào) |
SURFCOM 2700DX3/SD3 | |||||||||
-12 |
-13 |
-14 |
-15 |
-22 |
-23 |
-24 |
25 | |||
測(cè)量范圍 |
Z軸(縱方向) |
50mm | ||||||||
X軸(橫方向) |
100mm |
200mm | ||||||||
精度 |
Z軸指示精度(縱方向) |
±(0.8+│2H│/100)μm?。℉:測(cè)量高度 mm) | ||||||||
測(cè)定分辨率 |
只有0.025μm/全套 | |||||||||
X軸指示精度(橫方向) |
±(1.0+1L/100)μm (L:測(cè)量長(zhǎng)度 mm) | |||||||||
測(cè)定分辨率 |
0.016μm | |||||||||
直線度精度 |
1μm/100mm |
2μm/200mm | ||||||||
測(cè)量方式 |
X軸(橫方向) |
線性馬達(dá) | ||||||||
Z軸(縱方向) |
規(guī)模激光衍射 | |||||||||
速度 |
立柱上下移動(dòng)速度(Z軸) |
3-10mm/s | ||||||||
速度(X軸) |
測(cè)量速度: 0.03-20mm/s; 移動(dòng)速度: 最大60mm/s | |||||||||
檢出器
|
測(cè)針, 測(cè)力 |
交換式 30mN以下 、與收縮功能 | ||||||||
測(cè)針半徑(測(cè)針材質(zhì)) |
25μmR(24°超硬合金) 標(biāo)準(zhǔn)配件 | |||||||||
測(cè)定方向,姿勢(shì) |
前?后方向 、上?下 方向 、最大跟蹤角:77° | |||||||||
測(cè)量范圍 |
驅(qū)動(dòng)部 |
100mm |
200mm | |||||||
上下 |
226mm |
426mm |
626mm |
226mm |
426mm |
626mm | ||||
操作臺(tái) |
大小 |
600*320mm |
1000*450mm |
600*320mm |
1000*450mm | |||||
允許裝載質(zhì)量 |
37kg |
28kg |
93kg |
84kg |
31kg |
22kg |
87kg |
78kg | ||
要素 |
尺寸 |
長(zhǎng) |
1250mm |
1650mm |
1250mm |
1650mm | ||||
寬 |
800mm |
900mm |
800mm |
900mm | ||||||
高 |
1480mm |
1680mm |
1880mm |
1480mm |
1680mm |
1880mm | ||||
重量 |
225kg |
235kg |
420kg |
430kg |
230kg |
240kg |
425kg |
435kg | ||
電壓 |
單相AC100V±10% 50-60HZ/670VA |