型號 |
M544 |
M574 | |
測量范圍 |
X軸 |
500mm(20") |
500mm(20") |
Y軸 |
400mm(16") |
700mm(28") | |
Z軸 |
400mm(16") |
400mm(16") | |
分辨率 |
0.0005mm(.00002") |
0.0005mm(.00002") | |
200C時的精度ISO10360-2 |
E=(3.5+4.5L/1000)µm*
R=4.0µm
(使用TP20) |
E=(3.5+4.5L/1000)µm*
R=4.0µm
(使用TP20) |