產(chǎn)品描述:
PRESI 1200FP晶片拋光機(jī)
規(guī)格描述:
1.1200 mm 的直徑拋光盤
2.可變速拋光盤的速度范圍為40-100 rpm.
3.噴液冷卻
4.全不銹鋼材質(zhì)的拋光盆和工作臺
5.2個拋光盤可同時進(jìn)行磨拋
6.可互換的直徑480 mm的真空裝片裝置
7.可變速的拋光機(jī)頭的速度范圍為40-100 rpm.
8.可調(diào)節(jié)的研磨壓力范圍為10-369kg
9.可調(diào)的清潔方式(速度和幅度)
10.通過適當(dāng)?shù)乃俣扰c壓力調(diào)節(jié)可使自動拋光布再生
寬度: 1600 mm
深度: 2100 mm
高度: 2000 mm
重量: 1650 kg.
操作:
MECAPOL 1200 FP 是一款高效能的拋光機(jī)并且操作非常簡單以及便于維修保養(yǎng).
1.真空裝片裝置的裝卸工作可在一分鐘內(nèi)完成.
2. 頭部清潔功能可適合多晶圓拋光或直徑12"(300mm)的單晶片的拋光.
3.自動拋光布可在每個拋光程序之前就可再生.
4.拋光速度,壓力和時間的可調(diào)功能可使用戶非常容易的操作以及可快速的進(jìn)行程序的變更.
拋光產(chǎn)品尺寸:
1.單晶圓拋光:每個磨拋頭可以磨拋 8” (200 mm) 和1 2” (300 mm)的晶圓.
2.6 x 8”的多晶圓拋光.
技術(shù)參數(shù):