專為高純氣體運(yùn)用場(chǎng)合,測(cè)量微量濕度水平的一體式變送器。
特點(diǎn):
◆ 安裝簡(jiǎn)便
◆ 高度的穩(wěn)定性和重復(fù)性
◆ 測(cè)量范圍達(dá)-120°C露點(diǎn)(<1ppbV)
◆ 100級(jí)潔凈室凈化包裝
典型運(yùn)用:
◆ 在線檢測(cè)半導(dǎo)體工業(yè)高純氣的濕度
技術(shù)參數(shù):
測(cè)量范圍: |
-120~-40°C露點(diǎn) |
精度: |
±1°C露點(diǎn) |
工作壓力: |
30 MPa |
工作溫度: |
-20~+50°C |
氣室材料: |
冷拉不銹鋼, 內(nèi)部0.1~0.2 微米電拋光 |
防護(hù)等級(jí): |
IP 65 |
氣路接口: |
1/4’’VCR |
流量等級(jí): |
建議為1~5 NL/Min |
工作電源: |
12~28VDC |
輸出信號(hào): |
4-20mA(RS485 可選) |
溯源性: |
NPL(英國(guó))和NIST(美國(guó)) |
質(zhì)量保證期: |
12個(gè)月 |