氫化物氣體檢測/分析儀FP-260A簡介 工業(yè)半導(dǎo)體凈化室的理想檢測儀 | |
功能描述 | |
檢測原理: | 使用盒式紙帶的光電光度學(xué)原理 |
檢測紙帶: | 盒式紙帶,VHS型快速更換型盒帶 |
電源和耗電量: | AC100V,AC115V,AC220V,50/60Hz(在檢測狀態(tài)耗能為35VA,在紙帶卷動時耗能為60VA) |
物理特性 | |
長度 | 370mm |
寬度 | 275mm |
高度 | 220mm |
重量 | 約12kg |
持有證書 | |
CE |
檢測氣體 |
TLV值 |
檢測范圍 |
解析值 |
磷 PH4 |
300ppb |
0##900ppb |
5 |
四氫化硅 SiH4 |
5ppm |
0##15ppm |
0.25 |
乙硼烷 B2H6 |
100ppb |
0##300ppb |
5 |
砷烷AsH3 |
50ppb |
0##150ppb |
1 |
乙硅烷 SiH6 |
5ppm |
0##10ppm |
0.1 |
硫化氫 HS2 |
10ppm |
0##100ppm |
1 |
光氣 COCl2 |
100ppb |
0##300ppb |
2 |
氯氣 Cl2 |
0.5ppm |
0##100ppb |
1 |
硒化氫 H2Se |
50ppb |
0##300ppb |
2 |
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