參數(shù)測試系統(tǒng)主要特點(diǎn)及優(yōu)點(diǎn) |
單一平臺(tái)上的晶圓級直流/射頻測試
專為最小化測試費(fèi)用而設(shè)計(jì)
應(yīng)用廣泛
基于SECS/GEM的300mm和200mm自動(dòng)化 |
S680專為高靈敏度高速測試而設(shè)計(jì)。測量儀器位于系統(tǒng)機(jī)柜內(nèi),而前置放大器位于測試頭。前置放大器用于在探針后數(shù)厘米內(nèi)放大低電平信號(hào),再將放大了的信號(hào)通過電纜傳入系統(tǒng)機(jī)柜內(nèi)的測量儀器。這一方法消除了一般電纜和開關(guān)矩陣效應(yīng)帶來的速度和靈敏度損失。一個(gè)單一類型的SMU具有寬動(dòng)態(tài)量程。外部儀器可以使用八條通用管路直接連接到探針。 |