真空泵是用某種方式在某一封閉空間中產(chǎn)生、改進(jìn)和維持真空的裝置。

　　真空泵可以定義為：操縱機(jī)器、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方式對(duì)被抽容器舉行抽氣而的到真空的器件或配置。隨著真空應(yīng)用的生長(zhǎng)，真空泵的種類已生長(zhǎng)了很多種，其抽速?gòu)拿棵肓泓c(diǎn)幾升到每秒幾十萬(wàn)、數(shù)百萬(wàn)升。極限壓力(極限真空)從粗真空到十-1二Pa以上的超高真空范圍。

　　由于真空應(yīng)用部分所涉及的事變壓力的范圍很寬，因此任何一種范例的真空泵都小概完全實(shí)用于全部的事變壓力范圍，只可以根據(jù)不同的事變壓力范圍和不同的事變要求，利用不同范例的真空泵。為了利用方便和種種真空工藝進(jìn)程的必要，偶爾將種種真空泵按其性可以要求組合起來(lái)，以機(jī)組型式應(yīng)用。

　　通常操縱機(jī)器舉動(dòng)(轉(zhuǎn)動(dòng)或滑動(dòng))以的到真空的泵，稱為機(jī)器真空泵。機(jī)器真空泵按其事變道理及布局特點(diǎn)分述如下：

　　一、變?nèi)菡婵毡?/p>

　　它是操縱泵腔容積的周期變化來(lái)完成吸氣和排氣以到達(dá)抽氣目標(biāo)的真空泵。氣體在排擠泵腔前被壓縮。這種泵分為來(lái)去式及旋轉(zhuǎn)式兩種。

　　1、往復(fù)式真空泵

　　操縱泵腔內(nèi)活塞來(lái)去舉動(dòng)，將氣體吸入、壓縮并排擠。又稱為活塞式真空泵。

　　2、旋片式真空泵

　　操縱泵腔內(nèi)轉(zhuǎn)子零件的旋轉(zhuǎn)舉動(dòng)將氣體吸入、壓縮并排擠。它大致有如下幾種分類：

　　1)、油封式真空泵：它是操縱真空泵油密封泵內(nèi)各舉動(dòng)零件之間的間隙，減少泵內(nèi)有害空間的一種旋變化容真空泵。這種泵通常帶有氣鎮(zhèn)裝置。它重要包羅旋片式真空泵、定片式真空泵、滑閥式真空泵、余擺線真空泵等。

　　2)、液環(huán)真空泵：將帶有多葉片的轉(zhuǎn)子偏愛裝在泵殼內(nèi)。當(dāng)它旋轉(zhuǎn)時(shí)，把事變液體拋向泵殼形成與泵殼同心的液環(huán)，液環(huán)同轉(zhuǎn)子葉片形成了容積周期變化的幾個(gè)小的旋變化容吸排氣腔。事變液體通常為水或油，以是亦稱為水環(huán)式真空泵或油環(huán)式真空泵?！　?)、干式真空泵：它是一種泵內(nèi)不消油類(或液體)密封的變?nèi)菡婵毡谩Ｓ捎诟墒秸婵毡帽们粌?nèi)不必要事變液體，因此，實(shí)用于半導(dǎo)體行業(yè)、化學(xué)產(chǎn)業(yè)、制藥產(chǎn)業(yè)及食品行業(yè)等必要無(wú)油干凈真空情況的工藝場(chǎng)合?！　?)、羅茨真空泵：　　泵內(nèi)裝有兩個(gè)相反方向同步旋轉(zhuǎn)的雙葉形或多葉形的轉(zhuǎn)子。轉(zhuǎn)子間、轉(zhuǎn)子同泵殼內(nèi)壁之間均保持肯定的間隙。

　　二、動(dòng)量傳輸泵

　　它寄托高速旋轉(zhuǎn)的葉片或高速射流，把動(dòng)量傳輸給氣體或氣體分子，負(fù)氣體連續(xù)不斷地從泵的入口傳輸?shù)匠隹凇?/p>

　　分子真空泵

　　它是操縱高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把動(dòng)量傳輸給氣體分子，使之的到定向速率，從而被壓縮、被驅(qū)向排氣口后為前級(jí)抽走的一種真空泵。

　　這種泵詳細(xì)可分為：

　　1)、牽引分子泵氣體分子與高速舉動(dòng)的轉(zhuǎn)子相碰撞而的到動(dòng)量，被驅(qū)送到泵的出口。

　　2)、渦輪分子泵：靠高速旋轉(zhuǎn)的動(dòng)葉片和靜止的定葉片相互共同來(lái)實(shí)現(xiàn)抽氣的。這種泵通常在分子流狀態(tài)下事變。

　　3)、復(fù)合分子泵：它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯(lián)組合起來(lái)的一種復(fù)合型的分子真空泵。