LBIC-010超小光斑光譜響應(yīng)測(cè)試系統(tǒng) IPCE 量子效率測(cè)試系統(tǒng)描述:
本設(shè)備用于測(cè)量、分析光電探測(cè)器、CMOS,CCD等器件的微小局部特性,由于CMOS單位畫素尺寸小于50微米,無(wú)法以一般的白光光源聚焦到微米等級(jí)的光斑,須采用激光光源方能聚焦到微米等級(jí)后,因此需要激光光束引致電流掃描圖譜儀,測(cè)量微小器件的居部特性。
激光光束引致電流掃描圖譜儀為精密的光電轉(zhuǎn)換效率量測(cè)掃描裝置,用于檢測(cè)光電探測(cè)器、CCD、CMOS器件的轉(zhuǎn)換效率、均勻度,光譜響應(yīng),量子效率等特性。其組成為激光源、聚焦光路集成系統(tǒng)、精密電動(dòng)掃描平臺(tái)、光電流訊號(hào)量測(cè)系統(tǒng)、控制分析系統(tǒng)及軟件等五大部分。
1.激光源部分: 采用高同調(diào)性、高能量的激光,作為激發(fā)光電探測(cè)器器件,引致其產(chǎn)生光電流,本身的光強(qiáng)度不穩(wěn)定性需? 1 %。
2.聚焦光路集成系統(tǒng): 為多種光學(xué)零件(反射鏡、鏡座、光學(xué)濾鏡等等)組成之精密光學(xué)系統(tǒng),可導(dǎo)引激光光源到聚焦光學(xué)鏡組,聚焦后產(chǎn)生微米(micrometer)等級(jí)的光點(diǎn),用以量測(cè)光電器件微小局部特性。
3.精密電動(dòng)掃描平臺(tái): 用以載附光電器件作二維移動(dòng),以使聚焦光點(diǎn)能在器件表面作掃描量測(cè)。
4.光電流訊號(hào)量測(cè)系統(tǒng): 聚焦后的光點(diǎn)在入射到器件后,產(chǎn)生光電轉(zhuǎn)換,生成微弱光電流訊號(hào)(奈安培到微安培等級(jí)),經(jīng)過光電轉(zhuǎn)換放大器,鎖相放大器測(cè)得此光電訊號(hào)。
5.控制分析系統(tǒng)及軟件: 能控制激光源、光束大小調(diào)整、精密電動(dòng)平臺(tái)移動(dòng)、及微弱光電量測(cè)四大部分,作器件特性的二為掃描量測(cè),并將量測(cè)數(shù)據(jù)自動(dòng)作分析及繪制二維及三微的圖形顯示。
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