最小表示量um
0.05
0.05
0.1
綜合精度um
±1
±3
±4
直線性誤差um
±0.5
±2
±2.5
往返精度誤差um
±0.2
±0.5
±0.5
掃描頻率
1800/s
掃描速度m/s
110
175
350
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