壓力傳感器——發(fā)展現(xiàn)狀

壓力傳感器具有體積小、重量輕、靈敏度高、穩(wěn)定可靠、成本低、便于集成化的優(yōu)點(diǎn), 可廣泛用于壓力、高度、加速度、液體的流量、流速、液位、壓強(qiáng)的測(cè)量與控制。還廣泛應(yīng)用于水利、地質(zhì)、氣象、化工、醫(yī)療衛(wèi)生等方面。由于該技術(shù)是平面工藝與立體加工相結(jié)合, 又便于集成化, 所以可用來制成血壓計(jì)、風(fēng)速計(jì)、水速計(jì)、壓力表、電子稱以及自動(dòng)報(bào)警裝置等。壓力傳感器已成為各類傳感器中技術(shù)最成熟、性能最穩(wěn)定、性價(jià)比最高的一類傳感器。目前國(guó)內(nèi)外關(guān)于壓力傳感器的研究，主要有光纖壓力傳感器、電容式壓力傳感器，耐高溫壓力傳感器、硅微機(jī)械加工傳感器、具有自測(cè)試功能的壓力傳感器、多維力傳感器五種類型。其中電容式真空壓力傳感器因自熔焊接圓環(huán)的特殊作用可以防止泄露任何污染介質(zhì)等具有廣泛的應(yīng)用前景。  從已經(jīng)獲得的參考文獻(xiàn)來看，國(guó)際上美、日、英、法、德和獨(dú)聯(lián)體等國(guó)都把傳感器技術(shù)列為國(guó)家重點(diǎn)開發(fā)關(guān)鍵技術(shù)之一，其中光纖壓力傳感器是一種研究成果較多的傳感器, 但投入實(shí)際領(lǐng)域的并不是太多，六維力傳感器的研究和應(yīng)用是多維力傳感器研究的熱點(diǎn), 現(xiàn)在國(guó)際上只有美、日等少數(shù)國(guó)家可以生產(chǎn)。在我國(guó)跟蹤國(guó)外發(fā)展的基礎(chǔ)上, 又開創(chuàng)性的研制出組合有壓電層的柔軟光學(xué)陣列觸覺,能抓握和識(shí)別雞蛋和鋼球, 現(xiàn)已用于機(jī)器人分選物品。