產(chǎn)品描述:
KOSAKA ET 4000 基于 Windows XP 操作系統(tǒng)為多種不同表面提供全面的形貌分析,包括半導(dǎo)體硅片、太陽能硅片、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學(xué)器件、薄膜/化學(xué)涂層以及平板顯示等。使用金剛石(鉆石)探針接觸測(cè)量的方式來實(shí)現(xiàn)高精度表面形貌分析應(yīng)用。ET4000 能精確可靠地測(cè)量出表面臺(tái)階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應(yīng)力等多種表面形貌技術(shù)參數(shù)。前制程機(jī)臺(tái)(如曝光機(jī)、濺鍍機(jī)、蝕刻機(jī))best recipe 找尋。例如:PVD、CVD、DLC 真空濺鍍薄膜臺(tái)階、應(yīng)力測(cè)定及軟質(zhì)光阻材料等薄膜臺(tái)階量測(cè)。最主要是觸針形狀不同,ET(俗稱 Alpha-step)是 R2um/60度鉆石制、AFM 是蝕刻制,故幾乎無角度。也因此若純粹膜厚兩種都 OK,差異是有些細(xì)微表面 ET掉不進(jìn)去,故nm以下的表面粗度則以 AFM 為主。
技術(shù)參數(shù):
KOSAKA ET 4000 基于 Windows XP 操作系統(tǒng)為多種不同表面提供全面的形貌分析,包括半導(dǎo)體硅片、太陽能硅片、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學(xué)器件、薄膜/化學(xué)涂層以及平板顯示等。使用金剛石(鉆石)探針接觸測(cè)量的方式來實(shí)現(xiàn)高精度表面形貌分析應(yīng)用。ET4000 能精確可靠地測(cè)量出表面臺(tái)階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應(yīng)力等多種表面形貌技術(shù)參數(shù)。前制程機(jī)臺(tái)(如曝光機(jī)、濺鍍機(jī)、蝕刻機(jī))best recipe 找尋。例如:PVD、CVD、DLC 真空濺鍍薄膜臺(tái)階、應(yīng)力測(cè)定及軟質(zhì)光阻材料等薄膜臺(tái)階量測(cè)。最主要是觸針形狀不同,ET(俗稱 Alpha-step)是 R2um/60度鉆石制、AFM 是蝕刻制,故幾乎無角度。也因此若純粹膜厚兩種都 OK,差異是有些細(xì)微表面 ET掉不進(jìn)去,故nm以下的表面粗度則以 AFM 為主。
ET4000微細(xì)形狀測(cè)定儀
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