項目 / 型式 |
SURFCOM C5 Type-C |
SURFCOM C5 Type-S | |
量測范圍 |
Z軸(縱方向) |
1000μm | |
X軸(橫方向) |
200mm | ||
移動范圍 |
Z軸(上下) |
500mm (分辨率:0.1μm) | |
X軸(驅(qū)動部) |
200mm (分辨率:0.1μm) | ||
Y軸(前后) |
800mm (分辨率:0.1μm) | ||
Y軸(測頭驅(qū)動部) |
30mm (分辨率:0.1μm) | ||
旋轉(zhuǎn)角度 (測頭) |
0°、90°、180°、270° |
- | |
驅(qū)動部真直度精度 |
X軸:0.5μm/200mm、Y軸:0.5μm/30mm | ||
參數(shù) |
Ra,Rq,Ry,Rp,Rv,Rc,Rz,Rmax,Rt,Rz.J,R3z,Sm,S,RΔa,RΔq,Rλa,Rλq,
TILT A,Ir,Pc,Rsk,Rku,Rk,Rpk,Rvk,Mr1,Mr2,VO,K,tp,Rmr,tp2,Rmr2,
Rδc,AVH,Hmax,Hmin,AREA,NCRX,R,Rx,AR,NR,CPM,SR,SAR | ||
顯示縱倍率 |
50~500K倍 | ||
顯示橫倍率 |
0.1~20K倍 | ||
驅(qū)動速度 |
上下速度(Z軸) |
Max 100mm/s | |
測量速度(X軸) |
0.03~3mm/s(粗度量測時)、0.03~20mm/s(形狀量測時) | ||
移動速度(X軸) |
Max 100mm/s | ||
移動速度(Y軸) |
Max 100mm/s | ||
測針 |
尖端半徑 |
0.75mN |
10mN |
測定力 |
2μmR |
5μmR | |
材質(zhì) |
鉆石材質(zhì) | ||
其它 |
電源 |
單相AC100~230V±10﹪、50/60Hz | |
消費電力 |
1000VA | ||
重量 |
2000kg |
1700kg |