X/Y軸行程(mm) | 800X1000 |
玻璃臺(tái)尺寸(mm) | 1150X820 |
Z軸運(yùn)動(dòng)行程 | 180 mm |
X/Y軸最大速度 | 350 mm/s |
光學(xué)系統(tǒng) | |
物 鏡 | 美國(guó)NAVITAR ,倍率 0.7X-4.5X |
光 源 | 表面光源- LED表面環(huán)行光源, 底光源-LED新型直線光源 |
光學(xué)尺解析度 | 0.5μm |
X\Y示值誤差 | (4+L/200)μm |
攝像機(jī) | SONY 彩色1/2?CCD攝像機(jī) |
視頻倍率 | 23.5X?148X |
物方視場(chǎng) | 11.1mm?1.7mm(物方視場(chǎng)為對(duì)角線的長(zhǎng)度) |