電阻率(25°C 時(shí)為 MΩ·cm) |
18.2 Ultrapure Water 18.2 |
TOC,ppb–使用 Quantum IX |
< 30 |
TOC,ppb–使用 Quantum EX |
<10 |
顆粒物 |
0.22µm 除菌過(guò)濾器 |
尺寸(接有 10L 儲(chǔ)水桶) | |
高,cm (in.) |
45.7 (18) |
寬,cm (in.) |
25.5 (10) |
厚,cm (in.) |
50 (20) |
操作重量(水箱裝滿),kg (lb) |
29.5 (65.0) |
I 級(jí)水流速 (L/min) |
高達(dá) 0.6 |
III 級(jí)水流速(L/h) |
高達(dá) 5 |