X-Strata960X熒光鍍層測厚儀
基于25年涂鍍層測量經(jīng)驗(yàn),在CMI900系列測厚儀的堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)上,引進(jìn)全新的設(shè)計(jì):
l 新100瓦X射線管 - 市場上所能提供的最強(qiáng)大X射線管。提高30%測量精度,同時(shí)減少50%測量時(shí)間
l 更小的X射線光斑尺寸 - 新增15mil直徑準(zhǔn)直器,可測量電子器件上更小的部位。提供改進(jìn)的CCD攝像頭及縮放裝置,同時(shí)提供更高精度的Y軸控制。
l 距離獨(dú)立測量(DIM) - 更靈活地特殊形狀樣品,可在DIM范圍內(nèi)12.5-90mm(0.5-3.5inch)對樣品表面進(jìn)行測量,Z軸可控制范圍為230mm(9inch)??赏ㄟ^手動調(diào)整也可以通過自動鐳射聚焦來實(shí)現(xiàn)對樣品的精確對準(zhǔn)。
l 自動鐳射聚焦 - 自動尋找振決的聚焦距離,改善DIM的聚焦過程并提高系統(tǒng)測量再現(xiàn)性。也可選擇標(biāo)準(zhǔn)的鐳射聚焦模式。
l 全新的大型樣品室 - 更大的開槽式樣品室(580x510x230mm : 23x20x9inch),開槽式設(shè)計(jì)可容納超大尺寸的樣品。可從各個方向簡便的裝載和觀察樣品。
l 3種樣品臺選項(xiàng) - XY程控控制(200x200mm或8x8inch移動范圍)/XY手動控制(250x250mm或10x10英寸)/固定樣品臺;標(biāo)準(zhǔn)配置Z軸程控控制(230mm或9inch移動范圍)。
l 內(nèi)置PC用戶界面
技術(shù)參數(shù)
l X射線激發(fā)和檢測
牛津儀器制造的100瓦(50kV-2.0mA)微焦點(diǎn)鎢靶X射線管
高分辨封氣(Xe)正比計(jì)數(shù)器可獲取最高的計(jì)數(shù)靈敏度,配合二次濾光器機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)最佳的檢出效果
l 數(shù)字脈沖處理
4096通道數(shù)字多道分析器,數(shù)字光譜處理過程可獲取最高的信號采集(每秒計(jì)數(shù)量),從而保證最好的測量統(tǒng)計(jì)結(jié)果
l 手動或自動透鏡控制
手動透鏡控制:通過手動調(diào)整DIM旋鈕控制分析聚焦距離
自動透鏡控制:激光束自動尋找DIM系統(tǒng)的最佳分析聚焦距離
l 自由距離測定
簡化系統(tǒng)設(shè)置和維護(hù)
在聚焦距離范圍內(nèi)僅需要一個校正
對不規(guī)則樣品更靈活的測量
在12.7mm-88.9mm的自由距離內(nèi),可準(zhǔn)確測量樣品表面的任何一點(diǎn)
通過DIM旋鈕或使用自動激光聚焦功能,可快速、準(zhǔn)確的確定聚焦距離
l 附帶自動透鏡功能的自動激光聚焦
獨(dú)特的、自動樣品擺放系統(tǒng)
激光掃描單鍵啟動
消除樣品碰擊Z軸的機(jī)會
改善DIM的聚焦過程
l 標(biāo)準(zhǔn)激光聚焦
標(biāo)準(zhǔn)激光聚焦功能在所要求的聚焦聚焦上,自動尋找正確的Z軸位置,提高分析再現(xiàn)性,結(jié)果不受人為操作的影響
Z軸聚焦掃描單鍵啟動改善DIM和常規(guī)固定焦距測量時(shí)的聚焦過程
l 微小準(zhǔn)直器
儀器至少裝備一個客戶指定規(guī)格的準(zhǔn)直器以最優(yōu)化測量,并提高測量效率
備有各種規(guī)格準(zhǔn)直器(0.015mm – 0.5mm),園形或矩形供客戶選用
多準(zhǔn)直器程序交換系統(tǒng)可同時(shí)安裝4個準(zhǔn)直器
l 大樣品室設(shè)計(jì)
方便超大樣品的推拉式平臺:如大面積PCB板、較長的管材樣品
大型開發(fā)式樣品室:方便于從各方向進(jìn)樣和觀察樣品
三種樣品臺備選:可編程XY軸樣品臺、手動XY軸樣品臺、固定位置樣品臺
標(biāo)準(zhǔn)配置自動化Z軸:最大高度230mm
l 集成化計(jì)算機(jī)
工作站式設(shè)計(jì):改善人機(jī)工程學(xué)、方便使用
簡化設(shè)備安裝:僅需要接入主電源線,沒有其他電纜
減少整機(jī)占用空間
USB和Ethernet接口:打印機(jī)、刻錄機(jī)、局域網(wǎng)和遠(yuǎn)程在線支持功能
l 其他硬件特點(diǎn)
CCD相機(jī)擁有2x、3x或4x的變焦功能,可實(shí)現(xiàn)對測定樣品的高分辨、實(shí)時(shí)、彩色圖像觀測
溫度補(bǔ)償功能監(jiān)測系統(tǒng)溫度,并自動校正由于溫度變化可能引起的儀器漂移,保證長期的儀器穩(wěn)定性
光譜校準(zhǔn)、單擊鼠標(biāo)執(zhí)行系統(tǒng)性能自檢和校正程序保證儀器長期的穩(wěn)定性堅(jiān)實(shí)耐用的儀器設(shè)計(jì)適用于各種工業(yè)環(huán)境一體化工作站設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)最佳的人機(jī)工程學(xué)