SUPRA™系列產(chǎn)品配備有經(jīng)過(guò)改進(jìn)的第三代GEMINI®鏡筒、概念新穎的樣品臺(tái)、智能化硬件控制板和新型高效率的透鏡內(nèi)二次電子探測(cè)器。
SUPRA™系列場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡是卡爾蔡司半導(dǎo)體事業(yè)部的納米技術(shù)系統(tǒng)部向市場(chǎng)推出的功能最多的場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡。具有當(dāng)前最先進(jìn)的儀器所具有的所有特征:如在圖像質(zhì)量一流時(shí)的超高分辨率、工作電壓切換方便、出色的束流穩(wěn)定性、全分析型樣品室、通過(guò)基于Windows® XP的SmartSEM™控制軟件實(shí)現(xiàn)簡(jiǎn)便的操作等顯著特點(diǎn)。在研究和發(fā)展的應(yīng)用中、失效分析和質(zhì)量保證等方面,SUPRA™系列場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡可提供迅速的、重復(fù)性好的、高可靠性的結(jié)果。
SUPRA™系列的多種儀器提供了全面的成像解決方案,可滿足半導(dǎo)體、材料分析、藥品制造和生命科學(xué)等領(lǐng)域中苛刻的應(yīng)用要求。對(duì)于不導(dǎo)電樣品,采用專利可變壓力(VP)技術(shù)的增強(qiáng)型可變壓力二次電子探測(cè)器(VPSE)可以得到一流的圖像和分析結(jié)果。GEMINI®鏡筒具有無(wú)與倫比的成像能力,尤其是在工作電壓低于1kV時(shí)成像能力尤為出色,這就使得SUPRA™成為適合所有納米科學(xué)應(yīng)用的成像工具。