SE850UV/VIS/NIR光譜橢偏儀光譜范圍: 350 nm - 1700 nm
SE 850是SENTECH公司的紫外-可見光-近紅外光譜橢偏儀,是基于紫外-可見光波段快速二極管陣列探測器和近紅外波段快速干涉調(diào)制探測的高性能光譜橢偏儀,能夠快速獲得數(shù)據(jù)并在全波段解析。應(yīng)用FT-IR光譜儀不但能夠提高測量速度、分辨率和信噪比,還能夠提供自動波長校準。
主要應(yīng)用
?測量單層膜或多層膜的厚度和折射率
?在紫外-可見光-近紅外波段測量材料的光學性質(zhì)
?測量厚度梯度
?測量膜表面和界面間的粗糙程度
?確定材料成分
?分析較厚的膜,厚度范圍可到30微米
?適合測量In攙雜的半導體材料 (InP, InGaAs, InGaAlAs, InN)
選項
?紫外光譜擴展選項,280 - 850 nm
?近紅外光譜擴展選項,1700 - 2300 nm
?計算機控制高性能消色差補償器
?計算機控制起偏器
?計算機控制自動角度計, 40o-90o, 精度0.01o
?手動x-y載物臺,150 mm行程
?電機驅(qū)動x-y載物臺,行程50 mm - 200 mm, SENTECH地貌圖掃描軟件
?透射測量樣品夾具
?攝象頭選項,用于樣品對準和表面檢測
?液體膜測量單元
?反射式膜厚儀FTPadvanced, 光斑直徑80微米
?微細光斑選項
?自動對焦選項,結(jié)合地貌圖掃描選項
?SENTECH標準樣片
?附加許可,使SpectrRay II軟件可以用于多臺電腦
光譜橢偏儀軟件SpectraRay II
基于windows系統(tǒng)的 SpectraRay II 操作軟件包括一個全面的的建模、模擬和擬合軟件包,操作向?qū)?,自動輸出結(jié)果,單鍵操作,使得軟件界面友好并且橢偏儀操作簡易。